东莞市普诺克真空科技有限公司旗下的旋片真空泵在微电子工业中成功应用。旋片真空泵多为中小型真空泵。旋片真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片真空泵，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，当今的超大规模集成电路的工序需要有真空条件（旋片真空泵能够提供）。

因此，微电子技术中，进口旋片真空泵在这起到一定的作用。

微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术，特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。

微电子技术是在传统的电子技术基础上发展起来的。之所以称之为“微电子”，顾名思义就是由于它是在微小的范畴内的一种先进技术，其特征是“四微”：①它对信号的加工处理是在一种固体内的微观电子运动中实现的；②它的工作范围是固体的甚至晶格级微区；③对信号的传递交换只在极微小的尺度内进行；④它的容积很大，可以把一个电子功能部件，甚至一个子系统集成在一个微型芯片上。总之，微电子技术是指在几乎肉眼看不见的范围内进行工作的一种独特而神奇的特种技术。

微电子技术对电子产品的消费者市场也产生了深远的影响。价廉、可靠、体积小、重量轻的微电子产品层出不穷。电子技术产品和微处理器不再是专门的科学仪器世界的贵族，而落户于各式各样的普及型产品之中，进入普通百姓家。例如电子玩具、游戏机、学习机以及其他家用电器产品等。就连汽车这种传统的机械产品也渗透进了微电子技术，采用微电子技术的电子引擎监控系统、汽车安全防盗系统、出租车的计价器等已得到广泛的应用，现代汽车上有时甚至要有十几到几十个微处理器。

本文主要介绍一下“旋片真空泵在微电子工业中成功应用”， 旋片真空泵广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送，真空夹具，以及真空吸引等。