真空系统在扫描电镜中的应用，扫描电镜被广泛的应用在半导体、实验室等领域。扫描电镜也是借助高真空系统。电镜的高真空系统是有分子泵和前级泵组成，分子泵一般采用脂润滑或磁悬浮的分子泵，前级泵是采用双级油旋片真空泵，或无油涡旋泵作为前级泵。前级泵是辅助分子泵运行的，前级泵先将腔体抽到10pa以后再启动分子泵。分子泵启动后再将系统抽到-3pa~-4pa左右。

扫描电子显微镜，是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。

在材料领域中，扫描电镜技术发挥着极其重要的作用，被广泛应用于各种材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。利用扫描电镜可以直接研究晶体缺陷及其产生过程，可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界，也可以观察在不同条件下边界移动的方式，还可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等。

真空系统在扫描电镜中具有什么产品特点呢？

应用于扫描电镜的真空系统具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等特点，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。

扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。东莞真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

扫描电镜需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。

普诺克真空系统在扫描电镜中的应用，能够靠电子束扫描物体表面来成像的。空气的存在会使的电子束变型，影响扫描效果，因此需要使用到真空系统抽真空。如果对普诺克真空系统感兴趣的话，都可以拨打我司的客户热线。