使用真空系统回收废气、尾气对于清洁环境变得越来越重要，并且需要安装压缩机。在实际使用过程中，设备排放大量有害腐蚀性气体进入配套真空系统，引起系统中真空泵的损坏，缩短了设备使用寿命。有害气体中的碘凝结成晶体与真空泵润滑油混合成油污，对设备危害较大。因此需要设计一套工艺系统，对废气（主要是其中的碘） 进行处理，以维护系统设备的正常使用。

在许多国家，环境法规禁止将有腐蚀的、有毒的气体排放到大气中，这一规定应用范围较广，覆盖了许多烃加工领域（HPI）。因此目前许多烃加工装置或是关闭环路并安装尾气回收真空系统，或是对现有系统进行技术改进。

德国真空系统废气处理方案

a.系统排放废气存储于2000m³真空球形储罐內，通过列管式换热器将废气加热，然后进入吸附塔底部，上升通过多孔筛板和3~5层120目不锈钢丝网以过滤废气中的气溶胶（颗粒和粉尘）；接着进入粗孔硅胶层和碱石灰层，除去废气中的水和氯气，以便后续设备能够得到保护，不受腐蚀侵害。

b.气体继续上升，通过活性炭层吸附去除废气中的气态碘以及微量氯化物，减少有毒的氯化物排放以及碘对后面真空泵润滑系统的损害，减少故障，延长其使用寿命。

c.经过吸附处理的气体从吸附塔顶部的气体出口用真空泵抽出，并取样分析氯气含量如果气体中的氯气含量超过《大气污染物排放标准》的规定值，则通过碱水喷淋洗涤的方法除去氯气，使其达到国标规定的排放要求。

液氨整理加工过程有废气排出，其组成有水蒸气、空气和氨气，其中氨气是有害气体，影响健康污染环境，为此要减少排放，使用真空系统回收废气，一方面可降低成本，另一方面可保护环境。

本文涉及一种废气回收方法，包括如下步骤：（1）将废气通过废气回收系统，用喷淋的方式将废气溶于水中，形成一定浓度的回收液，液体温度为20-50℃；（2）将制得的回收液通过废液精馏系统蒸馏冷凝，废液精馏系统的壳层热源为常压水蒸气，温度为100-140℃；废液精馏系统的管层内通回收废液，管层内通过真空泵抽取，呈负压状态，负压状态可以加速废液在壳层外部热源作用下，溶剂与水的分离。使用真空系统回收工业生产中产生的废气，效率较高，回收后进行再利用，节能环保，有效地解决了废气处理的问题，能大大减小刺激性气体对操作人员的健康影响。