2019-08-24

真空系统在污染管理中的应用

由于人们对工业高度发达的负面影响预料不够,预防不利,导致了全球性的三大危机:资源短缺、环境污染、生态破坏。由于人为因素使环境的构成或状态发生变化,环境素质下降,从而扰乱和破坏了生态系统和人类的正常生产和生活条件的现象,针对这些问题,越来越多企业重视环境保护,东莞市普诺克真空科技有限公司旗下的真空系统为污染管理提供一系列的解决方案,打算将真空系统在污染管理中的应用,会有什么样子的效果。

 

污染管理用真空系统是普诺克专门为半导体和制药行业最新开发的。凭借普诺克真空多年来作为真空技术供应商的经验,已经使我们对生产体系的工艺、设备以及环境的专有技术 和理解完全成形。基于这一认识,技术人员已开发了能够识别并最小化污染以及提高工艺每个步骤产量的解决方案。

 

真空系统


污染是如何发生的?

在半导体行业,在运输和等待期间,晶圆发射出了反应副产品。通过气流传播的水分和分子污染物(空气分子污染物,简称 AMC),例如氟化氢(HF),在运输箱(吊舱系统)的狭隘间隙里与环境空气中的氧化剂(H2O 和 O2) 发生反应。在这些反应中,生长在结构化晶片上那些不需要的晶体被触发,从而导致了质量的下降和产量的减少。在制药行业,比如湿度、氧气或微生物侵入等污染可以在整个产品生命周期影响药物稳定性。

 

环境污染源主要有以下几方面:

(1)工厂排出的废烟、废气、废水、废渣和噪音;

(2)人们生活中排出的废烟、废气、噪音、脏水、垃圾;

(3)交通工具(所有的燃油车辆、轮船、飞机等)排出的废气和噪音;

(4)大量使用化肥、杀虫剂、除草剂等化学物质的农田灌溉后流出的水;

(5)矿山废水、废渣;

(6)机器噪音,电磁辐射,二氧化碳污染;空气中主要污染物有二氧化硫、氮氧化物、粒子状污染物、酸雨。

 

中央真空站特点:

1、真空站的真空上、下限值,可通过真空表设定在0~-0.1Mpa之间,误差值在±10%。

2、真空站用储气罐根据用户要求制造,一般在0.1~3m3之间。真空站启动后,真空罐内真空度始终保持在设定的上、下限值之间。

3、配置真空泵采用品牌真空泵,可根据用气量相应配置型号。

4、控制方式:

A、单泵自动、手动控制。

B、双泵一开一备用或双泵分开单泵定时自动循环运行控制,或双泵同时联动运行自动控制。

5、真空负压站每台泵均配置带充气电磁止回阀一套,防止真空回油故障。

6、特殊行业可根据客户要求设计金属或粉尘过滤器,有效地保护真空获得设备。

 

普诺克真空系统在污染管理中的应用提高了敏感器件生产各个工艺步骤的产量及良率。为保证生产质量和高产量,对器件包装中的污染物及其直接环境的认识是十分重要的。


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