无油真空泵获得技术因其清洁抽空，节能环保等特点逐渐在各个领域得到了应用。本文就无油真空泵的特点无油真空泵在多晶硅铸锭炉中的应用进行一一的分析。多晶硅铸锭炉的生产工艺是将热交换法和布里曼法进行了结合，硅在铸锭炉内发生结晶，硅锭生产加热过程中底部的隔热层和炉的保温层确保了严密的闭合状态，从而避免了硅锭生产热量的外泄和温度的不均衡造成的硅锭受热不均衡，为硅锭长晶创造了良好的环境。

普诺克无油活塞真空泵在泵腔内具有若干组相互啮合的爪型转子。转子与转子之间及转子与泵腔之间并不接触，留有微小的间隙，不用任何润滑剂，从而保证了清洁的真空环境。泵的结构采用多级转子串连的形式，每组转子分别位于不同泵腔做同步反方向运动。泵腔被爪型转子分隔为吸气腔和排气腔两部分。随着转子连续运转，进行循环的吸气排气过程，实现了泵连续抽气的目的。

接下来，普诺克小编给大家介绍一下无油活塞真空泵的工作原理和特点。

无油活塞真空泵工作原理：

连杆通过轴承与偏心压装在一起，偏心轮锁紧在电机轴上，由于转轴的旋转，带动连杆往复运动，从而实现空气的的吸入、压缩和排出过程。

无油真空泵的特点：

1、在使用真空，排气的场合不含有油分，不会像油式真空泵那样对作业环境或制品造成污染，能够在各个领域使用。 　　

2、与油式真空泵相比，不需要给泵加油，基本不需要点检和检修。 　

3、运转声音低，使用寿命长。同时装备有真空压力表，调压控制器。 　　

4、由于使用了特殊的自润滑碳精片，具有很强的耐磨性。 　　

5、由于能够高速运转，因此可以与电机直连。这样可使泵小型化。 　　

6、由于多枚滑片的高速回转，可使脉动很小，吸排气稳定。

多晶硅铸锭炉已经成为太阳能光伏产业发展的重要设备，加强其生产工艺控制技术和设备组成情况的研究有利于提高铸锭炉的生产水平，促进硅片生产质量的提高和太阳能光伏电池制造水平的进步。

多晶硅的加工工艺对于真空度的要求较高，无油真空泵在多晶硅铸锭炉中的应用就是保持硅锭可以在真空状态下得到处理。不同的工艺环节对于真空度的要求存在较大的差异，多晶硅铸锭炉用无油真空泵需要对炉内的压力和真空状态进行控制和调整。多晶硅铸锭炉除了有基础的抽气设备之外还设置了压力检测装置，确保炉内压力在合适的范围之内，为多晶硅硅锭的生长提供良好的气氛。