2019-11-05

螺杆真空泵在平板显示器中的应用

伴随着上述无时无刻不在屏读的奇幻未来的是高速发展的显示面板产业。面板的生产制造过程非常繁复,从一块玻璃基板到出厂成品至少需要 300 道流程工艺,全程需在无尘的环境、精密的技术工艺下进行。所以,高度可靠的真空供应在面板生产过程中尤为重要。平板显示器生产商现采用干式螺杆真空泵技术为其高负荷的L/L,CVD,PVD,刻蚀,溶剂蒸发等工艺流程供应真空。本篇文章打算介绍下螺杆真空泵在平板显示器中的应用。

 

平板显示器(FPD)制造制程需要能够支持巨大加工室,并在最大可靠性的情况下输送高气体流速的真空和减排设备。需要使用普诺克真空设备来泵送有毒、自燃和腐蚀性气体,并处理制造制程舱中形成的大量固态制程副产物。

 

螺杆真空泵


在平板显示器中,为什么会选择采用普诺克螺杆真空泵

 

选择使用干式螺杆真空泵的原因,其实跟它的产品特点有关系,它具备以下三点优点:

 

1、高度可靠性

Pronotek干式螺杆真空泵尤其高效,得益于其久经考验的双螺杆设计和智能温度管理,该系列真空泵即使在最恶劣的应用环境中也具有高度可靠性及较长的使用寿命。

 

2、配备节能模式功能,可大量节省能耗

Pronotek干式螺杆真空泵配备了高能效电机和世界先进的节能模式功能,控制系统会自动根据需求调整为节能模式,而当需要的时候恢复到最大抽速模式,从而节省大量能耗。

 

3、维护及运行成本最小化

它的一小部分部件包括转子是一件式制成,得益于模块化设计以及独立的罗茨泵和螺杆泵框架,轻轻松松即可进行安装和维护,大幅降低了大修成本。由于该真空泵采用最优化的空间设计,并具有节能潜力,因此运行成本很低。

 

由多台干式螺杆泵与罗茨泵组合而成的真空系统是平板显示应用的最佳解决方案,例如:用于进出片室的快速抽空、过渡室和薄膜沉积室的抽空。在同类泵中,它们提供最快的抽空时间和最高的抽速。通过标准化设计,普诺克真空其使所提供系统具有极高的用户友好性。用户还可得益于诸如电气连接、吹扫气体和冷却水等的标准化接口、方便的设备维护及优化的备泵管理。

 

以上内容就是螺杆真空泵在平板显示器中的应用,如果想要了解更多,可以联系我们公司的。东莞市普诺克真空科技有限公司可根据平板显示器生产中CVD、PVD、刻蚀、PR 涂层、成盒、OLED 蒸镀,封装、离子注入等不同工艺需求,为客户量身定制专业的真空解决方案。


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