真空泵厂家分析真空压力控制系统如何优化。芯片的刻蚀工艺通常要在一个受控的真空环境下工作，反应腔的功能是在真空环境中保持工艺参数需要的压力，去除不需要的水汽、空气和附加反应物；创建一个能够使等离子体发生反应的真空环境。为了降低刻蚀机真空压力控制系统的成本，实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化，同时为了提高真空系统的抽气速率和极限真空，系统中的腔、真空泵以及连接管路和阀门的选配是很重要的。

刻蚀机为了保证刻蚀工艺需要的稳定工作压力，大抽速真空系统是必不可少的组成部分。普诺克真空泵厂家详细地介绍反应腔、真空泵的选择、真空阀门的选配、真空计和真空检测开关、真空计和真空检测开关和连接管路。

真空泵厂家分析真空压力控制系统如何优化？要从以下五个方面展开：

⑴反应腔

反应腔是真空系统的基本部件，不同刻蚀的反应腔形状和大小不同，但都属于受负压的容器。为了增加芯片产能的需要反应腔采用的是多工位设计，这就需要真空泵的抽速满足其要求。多工位设计要保证多个工位芯片的均匀性是很难的。必须加大真空泵的抽气速率，分子泵是最好的选择。根据不同工艺的需要，反应腔的工作压力一般在10^-3-10^-2Torr之间，既要保证反应腔的真空度，又要保证工艺气体的压力，确保反应腔工作在真空稳定的状态下，这一直是真空泵厂家研究的课题。

⑵真空泵的选择

真空泵是获得真空的关键设备，至今还没有一种泵能从大气压一直工作到接近超真空，必须两种或以上的泵联合使用，螺杆式干泵属于容积泵类型，其工作循环可分为吸气、压缩和排气三个过程，其优点是结构稳定，重心低，转动平稳，振动小，噪音小。分子泵有牵引分子泵、涡轮分子泵和复合式分子泵等，分子泵的选型根据刻蚀反应腔压力和容积的不同而不同。

⑶真空阀门的选配

选择钟摆阀是为了配合分子泵大口径尺寸的需要，钟摆阀的开度大反应腔的压力就减小，但是当开度大到一定程度时，由于泵的抽速有限，反应腔的真空就被限制住了，真空压力就不能继续减小。所以要选择钟摆阀适合的工作开度，以满足刻蚀工艺工作压力的要求。

⑷真空计和真空检测开关

真空计能时刻监控反应腔和管路的压力，在反应腔和管路上设置真空计，当真空度达到一定值时，开启或关闭真空阀门。真空计的分类主要有两种方法：①按真计读数的刻度方法进行分类，即绝对真空计和相对真空计；②按真空计测量原理进行分类，即直接测量真空计和间接测量真空计。薄膜式电容真空计是间接测量的绝对真空计，由于具有性能稳定，重复性好，而且其响应速度快，抗过载能力强，结构牢固，使用方便的特点，因此被业界广泛应用。为了安全考虑，真空管路必须设置大气真空开关，当压力值达到一个大气压时真空开关自动打开排气，保护反应腔和管路系统的真空仪器。

⑸连接管

真空系统最重要的性能参数是其所能获得的极限真空度和对反应腔的有效抽速，真空系统的极限真空度是指在没有外加负荷的情况下，经过足够长时间的抽气后，系统所能达的最低压力。

进口真空泵厂家表示任何真空系统绝对不漏的现象是不可能的，所以真空管路上需要设置检漏口，方便进行真空检漏。