蒸发镀膜设备是制作光学薄膜的主要手段。随着光学薄膜的发展，传统的电阻蒸发镀膜设备性能渐趋不能满足要求，为此，东莞市普诺克真空科技有限公司对镀膜设备的设计，即镀膜室的布局及真空系统的配置进行了改进，以适应使用需求。电阻蒸发镀膜设备应用广泛，主要用于汽车反光网、烫钻、工艺品、首饰、鞋帽、钟表、灯具、装饰、手机、DVD、MP3、PDA外壳、按键、化妆品外壳、玩具、圣诞礼品等行业。接下来小编将会为大家介绍下真空系统在蒸发镀膜设备中的应用的相关知识，希望对各位有一定的帮助。

什么是电阻蒸发镀膜设备？其结构和工作原理是什么？

电阻蒸发镀膜设备是在真空室中利用电阻加热法，将紧贴在电阻丝上的金属丝（铝丝）熔融汽化，汽化了的金属分子沉积于基片上，而获得光滑高反射率的膜层，达到装饰美化物品表面的目的。

它的结构可为立卧式双开门结构，成膜速率快，色泽鲜亮，膜层不易受污染，可获得致密性好、纯度高、膜厚均匀的膜层，不产生废液、废水，可避免对环境污染，属环保设备。

它的工作原理是在真空室中利用电阻加热法，将紧贴在电阻丝上的金属丝（铝丝）熔融汽化，汽化了的金属分子沉积于基片上，而获得光滑高反射率的膜层，达到装饰美化物品表面的目的。

蒸发镀膜过程中，从膜材表面蒸发的粒子以一定的速度在空间沿直线运动，直到与其他粒子碰撞为止。在真空室内，当气相中的粒子浓度和残余气体的压力足够低时，这些粒子从蒸发源到基片之间可以保持直线飞行，否则，就会产生碰撞而改变运动方向。为此，增加残余气体的平均自由程，以减少其与蒸发粒子的碰撞几率，把真空室内抽成高真空是必要的。

本文主要概述真空系统在蒸发镀膜设备中的应用是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之汽化，蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸镀是PVD技术中发展最早，应用较为广泛的镀膜技术，尽管后来发展起来的溅射镀和离子镀在许多方面要比蒸发镀优越，但真空蒸发镀膜技术仍有许多优点，如设备与工艺相对比较简单，可沉积非常纯净的膜层等等，因此，真空蒸发镀膜仍然是当今非常重要的镀膜技术。近年来由于电子轰击蒸发，高频感应蒸发以及激光蒸发等技术在蒸发镀膜技术中的广泛应用，使这一技术更趋完善。