氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪的真空系统是由哪些设备组合而成的呢？氦质谱检漏仪的分类和正确的保养方法都是本篇文章重点介绍的内容，当然，还要给大家阐述下真空系统在氦质谱检漏仪中的应用情况。

氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。其分类有：①单级磁偏转型氦质谱检漏仪，②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪，③逆流氦质谱检漏仪这三种。

氦质谱检漏仪的优势特点

1.采用便携式设计

2.设备外型美观小巧

3.采用液晶触摸屏设计

4.有通讯接口

5.可以方便地将检漏数据输出

关于真空系统在氦质谱检漏仪中的应用情况，由东莞市普诺克真空科技有限公司进行整理。

氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成。

普诺克真空系统的特点为：

1.低噪音、低振动。

2.空气冷却，方便容易。

3.在高温环境下仍良好运作。

4.在低真空压力下仍保持良好抽气速度。

5.内置滤心和过滤器，可达高度过滤效果。

6.内置单向阀门，防止真空油逆流。

7.结构简单，体积小，节省空间。

8.多功能概念，可配合客户的特别配置。

9.容易保养。

在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到一定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统；否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏；所以被检件的清洁前处理及对设备自身定期的保养清理尤为重要。

设备自身保养小知识

（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；

（2）电磁阀组的超声清洗；

（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。

东莞普诺克真空科技有限公司专注于真空行业，是一家集设计、研发、产销为一体的真空设备专业性企业。本公司专业从事中央真空系统设计及安装、真空系统控制、真空负压系统及各类真空应用设备。普诺克拥有专业的技术人才和检测设备，为各行业提供适用的真空系统设计和安装，并针对个案设计，量身定造，为企业解决众多真空应用方面的难题，深受用户欢迎。